部共同开发EUV。
前世，英特尔邀请尼康和ASmL加入EUV LLc联盟，但美国政府反对尼康加入，ASmL做出多重承诺后才得到这个千载难遇的机会，资金到位，技术入场，人才云集，EUV LLc联盟也花了近20年的时间，第一台可量产的ASmL EUV样机才正式发布。